高精密測量系統(tǒng)儀器配套服務(wù)商
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| 型號 | FTA-S4C3000 | FTA-H4C3000 | FTA-W4C3000 | FTA-L4C3000 | FTA-S8C3000 | FTA-H8C3000 | FTA-W8C3000 | FTA-L8C3000 | ||
| FTA-S4C4000 | FTA-H4C4000 | FTA-W4C4000 | FTA-L4C4000 | FTA-S8C4000 | FTA-H8C4000 | FTA-W8C4000 | FTA-L8C4000 | |||
| Z1軸（檢出器） | 測量范圍 | 60mm（從水平狀態(tài)起±30mm） | ||||||||
| 測長單元 | 圓弧柵尺 | |||||||||
| 分辨力 | C3000:0.04μm C4000:0.02μm | |||||||||
| 直線度（X軸水平姿勢時） | 0.8μm/100mm | 2μm/200mm | ||||||||
| 指示精度（20℃） | C3000 | X軸 |
±（0.8+0.01L）μm L=驅(qū)動長度（mm） 寬范圍：1.8 μm/100mm 窄范圍：1.05 μm/25mm |
±（0.8+0.051L）μm L=驅(qū)動長度（mm） 寬范圍：3.8 μm/200mm 窄范圍：1.2 μm/25mm |
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| Z1軸（檢出器） | ±（0.8+丨2H丨/100）μm H=從水平位置開始的測量高度（mm） | |||||||||
| C4000 | X軸 |
±（0.8+0.01L）μm L=驅(qū)動長度（mm） 寬范圍：1.8 μm/100mm 窄范圍：1.05 μm/25mm |
±（0.8+0.051L）μm L=驅(qū)動長度（mm） 寬范圍：3.8 μm/200mm 窄范圍：1.2 μm/25mm |
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| Z1軸（檢出器） | ±（0.8+丨2H丨/100）μm H=從水平位置開始的測量高度（mm） | |||||||||
| X軸（驅(qū)動器）測量范圍 | 100mm | 200mm | ||||||||
| Z軸（立柱）移動范圍 | 300mm | 500mm | 700mm | 300mm | 500mm | 700mm | ||||
| 底座材質(zhì) | 花崗巖 | |||||||||
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